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深圳市龙图光电芯片光刻机房精密恒温恒湿净化空调

时间:2023-05-25   访问量:33

深圳龙图光电是一家生产芯片的高新技术企业,其芯片光刻机机房对环境温度,湿度的波动控制要求极高,对车间空气净化等级也是达到百级。

采用了我们的风冷直膨精密恒湿恒湿净化空调,温度控制精度:±0.2℃;湿度精度:55% ±5%;

在净化方面,我们恒温恒湿净化空调自带G4初效过滤,F8中效过滤,H11亚高效过滤,机房配置高架地板和FFU的洁净方案。


高精密恒温恒湿净化空调龙图光刻机房现场


高精密恒温恒湿净化空调控制台.jpg


精密恒温恒湿净化空调吊顶室内机.jpg


精密恒温恒湿净化空调室外机龙图现场


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